三安半导体项目芯片厂房封顶 可达“百级”洁净度

　　科技日报讯 （记者俞慧友 通讯员褚兴科 王丽）投资160亿元、百级占地面积1000亩的安半湖南省首个第三代半导体产业园及国内首条碳化硅研发生产全产业链生产线，有了新进展。导体度new%20zealand%20rugby%20team%20jersey%20--%E3%80%90WhatsApp%20%208615855158769%E3%80%911月19日，项目芯片记者从长沙高新区获悉，厂房三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房封顶，封顶占地23206平方米、可达建筑面积52326平方米、洁净钢构大屋面面积16500平方米。百级

　　建设方中建五局三公司介绍,安半该项目主要包含碳化硅长晶、衬底、导体度new%20zealand%20rugby%20team%20jersey%20--%E3%80%90WhatsApp%20%208615855158769%E3%80%91外延、项目芯片芯片、厂房器件封装等厂房及相关配套设施建设。封顶项目全面建成投产后，可达将形成碳化硅研发和生产全产业链两条生产线，生产可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线（5G）通讯等的高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件。全部建成后预计可实现年产值120亿元以上，并可带动上下游配套产业产值预计超1000亿元。

　　“项目主要服务于技术密集型的半导体产业。半导体生产对空气洁净度有高要求。此次建设的芯片厂房达‘百级’洁净度。”中建五局三公司项目负责人周祥说。

　　所謂“百級(jí)”潔凈，即每立方英尺空氣中粒徑大于等于0.5微米的粒子數(shù)量不超過100個(gè)，堪比最高潔凈等級(jí)手術(shù)室標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人陸建臻表示，為保證“百級(jí)”潔凈，芯片廠房采用華夫板（利用樓板內(nèi)孔洞形成回風(fēng)通道的樓板）高精度施工，并建立潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)形成回風(fēng)通道。芯片廠房華夫板厚度70厘米，可抗微震；華夫板面積達(dá)1410平方米，其中澆筑有35000個(gè)直徑35厘米的奇氏筒，相當(dāng)于每2平方米就有5個(gè)用于換氣的圓形孔洞。屆時(shí)，芯片產(chǎn)線布置于華夫板上，整車間利用新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)氣保證正壓，并通過華夫板回風(fēng)通道排氣，最終保證車間潔凈度。